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HUNAN XINGSHENG NOVEL MATERIALS TECHNOLOGY CO.,LTD
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光伏制程系列 >
Solid SiC 盘、环
SiC涂层CC隔热屏
 6寸单片石墨盘(CVD SiC涂层)
SiC涂层CC隔热屏
TaC涂层坩埚
4寸多片石墨盘
SKIRT
圆盘
圆环​
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5、良好的化学稳定性与耐腐蚀性​​​​

能抵抗各种酸(HF除外)、碱、盐及有机溶剂的腐蚀,不会产生化学反应

6、较长的使用寿命​​​​

CVD SiC涂层产品的寿命是市场常见无涂层产品的2-3倍

7、外观质量​​​​

外观表面光洁平整,无裂痕,无疵点。

8、按需定制​​​​

按用户需求定制各种非标陶瓷符合材料及其SiC/TaCc涂层制品。

1、超高的纯度

CVD SiC涂层的杂质含量为ppm、ppb级

2、优异的耐热震性能​​​​

热膨胀系数小且可调节,能够抵抗急冷急热。

3、优异的抗氧化、抗硅化性能

SiC涂层可有效隔离氧、硅与炭素热场材料接触,有效房子产品氧化、硅化。

4、优异的耐磨损性能

表面SiC涂层硬度高,可显著减少炭素热场材料的磨损,产品寿命大幅度提高。


产品特点

碳化硅基半导体制程系列

SiC单晶生产TaC涂层坩埚

TaC涂层托盘

TaC涂层喷管

TaC涂层隔热

Solid SiC 盘、环

Solid SiC 载片器

4寸多片石墨盘CVD SiC涂层)

6寸石墨盘CVD SiC涂层)

PECVD舟架CVD SiC涂层)

SiC芯片外延成套石墨零部件(CVD SiC涂层)CVD SiC涂层石墨发热体

SiC陶瓷刻蚀盘(CVD SiC涂层

硅基半导体制程系列

2~4寸多片石墨盘

4寸多片石墨盘

6寸多片石墨盘

Skirts 

PECVD舟架

ICP刻蚀盘

光伏制程系列

SiC涂层C/C导流筒

SiC涂层C/C坩埚

SiC涂层C/C盖板

SiC涂层C/C隔热屏

PECVD舟架

CVD SiC涂层石墨片(C/C片

航天航空抗烧蚀涂层材料

SiC涂层抗氧化耐烧蚀材料

TaC涂层超高温耐烧蚀材料

HfC涂层超高温耐烧蚀

ZrC涂层超高温耐烧蚀 

LED、Micro/Mini LED制程系列

2~4寸多片石墨盘

4寸多片石墨盘

6寸多片石墨盘

Skirts 



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